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詳細解析THYRACONT真空計的分類原理
更新時間:2021-08-24   點擊次數:987次
  THYRACONT真空計是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產中廣泛使用。
 
  THYRACONT真空計的測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的THYRACONT真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
  利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
  1、波爾登規(guī):
  細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
  這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
 
  2、熱電偶規(guī):
  熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
  測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
  與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。
 
  3、薄膜電容規(guī):
  在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
  這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
  這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數小時。
 
  4、皮拉尼電阻規(guī):
  也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
  由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
  如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。
  這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
  由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。

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